一．設備的主要用途、功能及特點
全進口設備，研究級紫外臭氧清洗機，生物化工和半導體材料科研領域實驗室的全套解決方案，完美解 決材料的表面清洗、活化等工藝過程中的問題，由主機、配套裝置、控制系統和樣品臺 組成
二．技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
2、 樣品臺單元
2.1． 樣品高度：標準樣品臺尺寸為 8 英寸（20cm）。
*2.2.        很大清洗尺寸：有效清洗尺寸 8x 8 英寸（20x20cm）的樣品。
*2.3樣品高度可調，可以合理定位樣品高度和位置，位置可鎖定。
2.4清洗腔打開方式：上開式；
2.5 360度樣品放置：允許360度自由放置樣品
3、紫外燈單元
3.1   UV 格柵燈：產生臭氧的低壓汞格柵燈，帶反射罩，燈管壽命大約為 5000 小時，典型強度：25－30Mw/cm2 @254nm。
3.2   UV 反射罩：UV 反射罩一般比 UV 格柵燈大一英寸， UV反射罩有效范圍為23x23cm（8×8 英寸燈管，反射罩尺寸是 9×9 英寸）。
4、控制單元
4.1數字控制器，可設定和控制處理時間、樣品高度等各項參數；
4.2倒計時方式數字顯示；
 
三．系統控制軟件
數字控制器，可設定和控制處理時間、樣品高度等各項參數；
四．可選附件
UV 汞柵燈    燈管壽命大約為5000小時
 
五．技術文件、資料
說明書  產品說明書一套
六．工作條件
6.1電源：220V±10%  50HZ
6.2溫度：15～35°C
6.3相對濕度：25～85%
七．售后服務、技術服務
保修一年，具有400免費熱線電話提供技術支持服務。